上海微电子新一代前道干式光刻机通用技术平台模型亮相进博会

【上海微电子新一代前道干式光刻机通用技术平台模型亮相进博会】据上海微电子装备集团官方公众号，在第九届进博会上，上海微电子携自主研发的新一代前道干式光刻机通用技术平台模型正式亮相，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。